Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры
Оформить заказ
Серия:Университеты России
Автор:Гуляев Ю.В., Иванов В.И., Лучников П.А. (Ред.)
Издательство:Юрайт
Страниц:460
Год:2022
Обложка:Твердый переплет
Размер:60x90/16
SKU:RU812126
ISBN:9785534031706
Наша цена:US $135.00
Пункты выдачи магазин ТРОЙКА
Отправка почтой: June 11th от US $12.00, бесплатно при заказе от US $100.00.
Точная стоимость доставки будет рассчитана при оформлении заказа.
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.